行业消息人士称，由于芯片制造商希望提高超精细加工的生产率，三星电子（Samsung Electronics）的代工业务将从三井化学（Mitsui Chemicals）购买价值数十亿韩元的EUV（极紫外光刻）光罩护膜。经过最终测试后，三星将在其韩国华城园区S3工厂的3纳米晶圆代工生产线上采用EUV光罩护膜进行量产。(界面)